3-дюймовая двухзонная печь CSS для быстрой термической обработки

Структура печи и вакуумная камера

• Двойной нагреватель, два регулятора температуры, двухканальные газовые расходомеры интегрированы в мобильную раму из алюминиевого сплава.

• Камера изготовлена ​​из плавленого кварца высокой чистоты.

• Размер кварцевой трубки: 11 дюймов OD / 10,8 дюймов ID × 9 дюймов H

• Вакуумные фланцы изготовлены из нержавеющей стали 316.

• Габаритные размеры: 850 (Д) × 745 (Ш) × 1615 (В) мм

Вакуумные фланцы

• Верхний фланец с одним вакуумным портом KFD-25 и двумя выходами для газа (требуется труба 1/4 дюйма) может сдвигаться вверх или вниз вручную, чтобы легко загружать и выгружать субстрат и испаряющийся материал

• Нижний фланец имеет один вакуумный порт KFD-25 с двумя входами для газа (требуется труба 1/4 ") и игольчатые клапаны.

• Фланец уплотнен двойными силиконовыми уплотнительными кольцами и может обеспечить максимальное вакуумное давление 10E-2 Торр с помощью качественного механического насоса и 10E-5 Торр с помощью молекулярного насоса (вакуумный насос не входит в комплект, заказывается отдельно)

• Прецизионный антикоррозионный цифровой вакуумметр входит в стандартную комплектацию.

Расходомеры газа

На пульте управления установлены два поплавка с диапазоном измерения:

• 16-160 мл / м 

• 400 - 4000 мл / м (для продувки) 

Нагреватель и держатель образца

• Две коротковолновые инфракрасные лампы в качестве нагревательных элементов для быстрого нагрева.

• Расстояние между двумя нагревателями регулируется от 10-50 мм.

• Нагреватели изготовлены из нержавеющей стали с водяной холодной рубашкой, чтобы уменьшить тепловое излучение и обеспечить быстрое охлаждение.

• 3-дюймовый круглый держатель пластин встроен в верхний нагреватель для загрузки подложки

• В комплект входит одна пластина из AlN с высокой теплопроводностью (диаметр 3 дюйма × 0,5 мм толщиной), которая должна надеваться на заднюю часть подложки для равномерного нагрева.

Регулятор температуры

• Два прецизионных цифровых регулятора температуры с 30 программируемыми сегментами обеспечивают независимое управление верхним и нижним нагревателями.

• Каждый контроллер имеет функцию автонастройки ПИД-регулятора для защиты нагревателей от перерегулирования и функцию аварийной сигнализации, чтобы избежать перегрева и разрыва тепловой пары.

• Интерфейс связи с ПК и программное обеспечение установлено для записи температурного профиля.

Рабочая температура

• Максимальная температура для каждого нагревателя: <= 650ºC

• Максимальная разница температур между двумя нагревателями: <= 300ºC в зависимости от расстояния между двумя нагревателями:

• Расстояние 30 мм Макс. разница температур: 315 ℃  только нижняя часть нагрева

• Расстояние 40 мм Макс. разница температур: 350 ℃  только дно нагрева

• Расстояние 50 мм Макс. разница температур: 395 ℃  только нижняя часть нагрева

Скорость нагрева и охлаждения

• Нагрев: <8 ℃ / с (только обогрев одиночного нагревателя)

• Охлаждение: <10 ℃ / с (600 - 100 ℃ ) Макс.

Тепловая пара

Две термопары типа К (открытые) устанавливаются отдельно на верхний и нижний нагреватели.

Рабочее напряжение

208 - 240 В переменного тока, однофазный, воздушный выключатель на 20 А

Требования к мощности

Всего 2200 Вт (1100 Вт на каждый нагреватель)

Гарантия

Ограничение на один год с пожизненной поддержкой (гарантия не распространяется на расходные материалы, такие как кварцевая трубка и нагревательные лампы)